P78 壓電掃描臺是專為生物醫療應用而設計的用于樣品顯微掃描的一維 Z 軸壓電掃描臺，它的外形結構易集成于顯微儀器設備中。

<<特點

· 一維 Z 向運動

· Z 向分辨率可達4nm

· 通孔尺寸為120×70mm

· 行程范圍110μm

<<應用

顯微成像、生物技術、超分辨率顯微鏡、光學圓盤顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D 成像、篩選、干涉測量、測量技術、自動聚焦系統、半導體測試等。

P78 壓電掃描臺對于納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用是非常理想的。可選配橋式配置的閉環傳感器，可消除溫度漂移，保證了納米范圍的定位穩定性。同時，通過FEA 優化了直線度與平面度，為運動方向及垂直運動方向上提供了較高的剛度。并聯運動學設計，使其結構更緊湊、響應速度更快。

<<大通孔、大位移、高分辨、高精度

P78 系列壓電掃描臺，采用機構放大設計原理，可以實現Z軸110μm的位移行程。優異的柔性鉸鏈導向機構采用有限元分析進行優化實現納米級的分辨率、毫秒級的響應時間。

P78 系列壓電掃描臺可選擇配置閉環傳感器，對位移實現實時監測并反饋給閉環壓電控制器，實現納米級精密控制。掃描臺臺體中心通孔尺寸為120×70mmmm，適用于干涉、掃描、表面檢測等應用。

<<開/閉環曲線

<<階躍時間

<<技術參數