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    P77系列壓電式移相器

    更新時間： 2019-03-18

    P77.D4 壓電式移相器為大口徑移相器，中心通孔孔徑分別為160mm，特殊的結構設計，與光學平面檢測儀相匹配。

     

    特點

    · 一維 Z 向運動

    · 分辨率可達0.5nm

    · 通孔尺寸為Ø160mm

    · 行程范圍20μm

    · 大承載10kg

    承載能力

    P77.D4 的承載能力高達10kg。

     

    多點位移測量

    出廠前，對多個點進行位移測量，保證運動的直線度。

     

    步進曲線

     

    開環曲線

     

    技術參數

     

    以上參數是采用E00/E01系列壓電控制器測得

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