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    壓電掃描臺應用于飛秒激光微加工

    更新時間: 2019-05-27

    現在,各種激光器已經被廣泛應用于各個工業及醫療領域,而飛秒激光作為微加工等領域的理想光源,正逐漸引發市場的高度關注。

    飛秒激光微加工的過程是將被加工的目標元件固定在壓電掃描臺上,將激光光束聚焦在準備加工的軌跡始端,調節激光能量,按照預先設計好的軌跡移動二維壓電掃描臺進行加工,由于壓電掃描臺的分辨率可達到納米級,精度非常高,所以這能大大提高飛秒激光加工系統的加工精度。

     

    飛秒激光結合高精度壓電掃描臺加工各種材料的微加工方式,作為激光加工技術領域的一個分支越來越受到廣泛的關注。其中芯明天自主研發生產的高精度壓電掃描臺以其精度高、性能穩定等特點已被廣泛應用于激光加工領域。

    芯明天P17系列二維壓電掃描臺

     

    P17 系列壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷,可以實現XY 軸210μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化結構,具有超高的導向精度。

    特點:

    · XY軸二維運動

    · 位移可達210μm/軸

    · 通孔尺寸60×60mm

    · 分辨率達5nm

    · 承載可達1kg

    · 閉環重復定位精度高

    推薦壓電控制器

    芯明天E70系列壓電控制器,既可保證快速的響應時間,又可保證掃描臺的工作穩定性,同時,E70控制方式采用模擬與數字控制,可與計算機連接,方便操作。

     

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