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    新品推薦|XD106.XYZ60K超低溫真空無磁壓電掃描臺

    更新時間： 2023-08-16

    隨著科學技術的深入研究，在低溫真空強磁的環境下提供納米級精密定位的應用在物理學、化學和材料學等領域應用越來越多，而低溫真空無磁壓電運動平臺是一種高精度精密定位設備，主要特點是高精度、高穩定性和高可靠性，可在低溫、真空及磁場等情況下提供精密定位，在半導體加工、檢測等方面廣泛應用。



    XD106.XYZ60K

    圖片
    由芯明天研發生產的XD106.XYZ60K壓電掃描臺是一款三維運動壓電平臺，它是專為超低溫、真空及無磁環境應用而設計，可進行XYZ三維掃描運動，采用低溫壓電驅動，耐低溫可達4K，它的體積小巧，尺寸僅39mm×39mm×35mm，中心通孔φ10mm，非常易于集成，外殼采用輕型耐低溫、無磁材料，采用低溫雙絞線，以適應低溫環境下的使用。




    產品特點



    · 低溫真空無磁，耐低溫可達4K

    · XYZ三維運動

    · 4K溫度下位移達30μm/軸

    · 分辨率可達2nm

    · 開環運動控制

    · 響應速度快




    產品應用



    · 半導體加工

    · 半導體檢測

    · 高精密測試和操作

    · 其他真空無磁要求的納米運動控制等



    技術參數



    型號
    XD106.XYZ60K
    運動自由度
    X、Y、Z
    驅動電壓
    0~60V@常溫
    0~150V@低溫4K
    標稱行程范圍（常溫）
    70μm/軸
    @0~60V，常溫
    標稱行程范圍（低溫）
    30μm/軸
    @0~150V，4K溫度
    中心通孔直徑
    10mm
    分辨率
    2nm
    空載諧振頻率
    X415/Y465/Z497Hz
    帶載200g諧振頻率
    XY105/Z229Hz
    靜電容量
    XY5.4μF，Z10.9μF
    材質
    鈦
    承載能力
    200g
    重量
    220g
    使用方向
    倒置使用


    推薦控制器



    芯明天設計生產多款壓電控制器，如模塊化、小體積型、大功率、工業式、集成式等。可根據不同應用場景選擇合適的壓電控制器。



    E00/E01系列壓電控制器

    圖片
    E00/E01系列壓電控制器是模塊化式壓電控制器，模塊化，可自由選擇伺服模塊、上位機通信模塊。驅動XD106.XYZ60K三維壓電掃描臺，選用E01.A3或E01.C3都可，后者增加了上位機通信功能。




    E70.C3系列壓電控制器



    圖片
    E70系列壓電控制器是一款集成式壓電控制器，它的外形尺寸緊湊很多，具有三個輸出通道，可進行上位機通信控制和模擬控制，非常適于驅動XD106.XYZ60K三維壓電掃描臺。


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