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    芯明天小體積超精密電容式傳感器、電容測微儀！

    更新時(shí)間： 2023-09-15
    高精度測微儀是具有微米或毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器，分為電感式、電容式、激光式。主要用于高精度長度（深度、高度、厚度、直徑、錐度）測量、振動(dòng)測量、微位移檢測等，在航天、航空、汽車、機(jī)床、光學(xué)器件加工、半導(dǎo)體及其它工業(yè)測控等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
    本次為大家?guī)硪豢钚久魈煨◇w積超精密電容式傳感器。它由兩部分組成，分別為電容探頭及控制盒。電容探頭為非接觸式，尺寸為Φ10mm×18.5mm，通過電容測頭可以測量0~500μm范圍內(nèi)的微小位移，測量分辨率可達(dá)1.25nm。控制盒尺寸僅有105×26×66mm^3，單通道輸出，體積設(shè)計(jì)非常小巧，易集成。整體外觀如下圖所示。
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    產(chǎn)品特點(diǎn)

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    測量范圍 0~500 μm
    分辨率可達(dá)1.25nm
    非接觸式測量
    體積小、易集成

    典型應(yīng)用

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    圖片

    電容式傳感器優(yōu)勢

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    1.穩(wěn)定性好。電容傳感器的電容值通常與電極材料無關(guān)，這有利于選擇具有低溫系統(tǒng)的材料，并且由于它產(chǎn)生的熱量很少，因此對穩(wěn)定性的影響很小。
    2.結(jié)構(gòu)簡單。電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單，易于確保高精度，并且可以做得很小，可以在特殊環(huán)境下測量，如高低溫、強(qiáng)磁等惡劣環(huán)境。
    3.動(dòng)態(tài)響應(yīng)良好。由于極板之間的靜電引力很小，其運(yùn)動(dòng)部分可以做得非常小和薄，因此固有頻率很高，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，并且可以在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適合動(dòng)態(tài)測量。
    4.非接觸式測量。使用非接觸式測量時(shí)，可以減小工作表面粗糙度對測量的影響。

    系統(tǒng)組成

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    芯明天電容測微儀由兩部分組成，分別為電容測頭/電容傳感器、傳感信號處理控制模塊。

    （1）電容測頭/電容傳感器

    圖片
    芯明天該款電容測頭（即電容傳感器）是圓柱型，采用平行極板原理，當(dāng)被測物與電容測頭間的距離發(fā)生變化時(shí)，它可將這種距離變化轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的容抗變化。
    圖片
    原理圖
    技術(shù)參數(shù)
    型號
    C01D10
    C02D10
    C05D10
    單位
    量程范圍
    0~100
    0~200
    0~500
    μm
    靜態(tài)分辨率
    1.25
    2.5
    5
    nm
    動(dòng)態(tài)分辨率
    （1kHz）
    50
    100
    200
    nm
    線性度
    50
    100
    200
    nm
    重復(fù)度
    2.5
    5
    10
    nm
    傳感器直徑
    10
    mm
    被測表面
    最小直徑
    10
    mm
    傳感器線長
    1.5
    m
    固定方式
    徑向裝夾

    探頭尺寸
    Φ10×18.5
    mm
    重量
    (含線及連接器)
    55
    g
    注：可定制1mm量程版本。

    （2）傳感信號處理控制模塊

    傳感信號處理控制模塊是專為匹配芯明天電容傳感器而研發(fā)設(shè)計(jì)，主要功能是將電容傳感器的位移信號轉(zhuǎn)換為電信號。它具有小巧緊湊的外形，非常適用于實(shí)驗(yàn)室及工業(yè)等各種場合的應(yīng)用。
    圖片
    技術(shù)參數(shù)
    控制器型號
    E75.CapA1-H
    單位
    通道數(shù)
    1

    靜態(tài)分辨率
    0.00125
    %F.S.
    動(dòng)態(tài)分辨率
    0.05 (2kHz)
    %F.S.
    模擬信號輸出速度
    2
    kHz
    絕對誤差
    ±0.2
    %F.S.
    線性度
    0.05
    %F.S.
    重復(fù)精度
    0.0025
    %F.S.
    信號溫度穩(wěn)定性
    ＜0.005
    %FSO/℃
    長期穩(wěn)定性
    ＜0.04
    %FSO/月
    帶寬
    2
    KHz（-3dB）
    工作溫度
    +10~+50
    ℃
    存儲(chǔ)溫度
    -10~+75
    ℃
    環(huán)境濕度
    <85
    %
    供電電壓
    24VDC/±50mA
    V
    電壓輸出范圍
    （模擬）
    0~10
    V
    傳感器輸出接口
    SMA

    尺寸（L×W×D）
    105×26×66
    mm
    重量
    0.18
    kg
    此外，芯明天具有模塊化的電容傳感器信號處理控制模塊 - E09.CAP系列，它的測量通道數(shù)可在1至12通道間自由選擇，同時(shí)也可根據(jù)需求定制更多的測量通道數(shù)。
    圖片
    芯明天E09.CAP系列電容傳感信號處理模塊
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