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壓電馬達是由壓電陶瓷作為驅動馬達，利用特殊機械結構設計，將壓電陶瓷產生的直線微位移轉換為機械平面的宏觀直線（或角度）運動，行程可達幾十毫米（或360°），根據運動方式可分為直線壓電馬達和旋轉壓電馬達。在當今工業和高科技領域對高精密自動化控制的需求下，壓電馬達由于大行程、高精度、小體積等優勢，廣泛應用于半導體技術、光學儀器設備、醫療生物顯微設備、精密加工設備、航空航天等領域。

本次給大家介紹一款真空版超小體積直線壓電馬達，型號是N11.X3.5KZ。它采用粘滑原理，將PZT 壓電陶瓷的微運動轉換為毫米級長行程。它的體積非常小巧，僅15×15×7mm^3，而它的行程卻可高達3.6mm，可通過單獨使用或組合使用進行1-3維運動，運動速度可達2mm/s，真空度可選10^-6或10^-9mbar版，非常適用于受限空間和環境中毫米范圍行程的調整應用。

產品特點

• 行程可達3.6mm

• 一至三維可選

• 體積小、重量輕

• 速度可達 2mm/s

• 斷電自鎖

產品應用

N11.X3.5KZ直線壓電馬達可在超分辨成像樣品移動、微納裝備及制造、掃描電鏡（SEM）樣品操縱、納米聚焦與掃描、主動光學、集成電路制造與檢測、顯微及納米CT、大范圍電子束直寫（EBL）、高真空樣品精度對準及調姿等高精密運動控制系統或設備中廣泛應用。

技術參數

型號	N11.X3.5KZ
運動自由度	X
標稱行程范圍	3.6或±1.8mm
速度上限	2mm/s
開環分辨率	20nm
出力	0.5N
保持力（斷電自鎖）	1.5N
承載能力（水平方向）	0.3kg
承載能力（豎直方向）	0.03kg
軸向剛度	1N/μm
側向剛度	2N/μm
工作溫度	0～50℃
電纜長度	1.5m
材質	鋁，不銹鋼
質量（不包含電纜）	6g

配套控制器

由芯明天研發生產的E53.C1K-J壓電控制器非常適用于驅動N11.X3.5KZ，它是單通道壓電控制器，尺寸僅105×103×30.1mm^3，采用數字控制，外觀體積小巧，結構緊湊、易于集成。

更多詳情歡迎致電芯明天！

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楊先生