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H32.TR4S系列三軸角度運動高精度壓電偏擺/旋轉臺
H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉臺其內部采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，可實現θx、θy偏擺及θz旋轉三維運動。它具有響應速度快、閉環定位精度高、負載大等特點。因其優異的性能，可在模擬振動環境中作為模擬振動臺，完成高精度、快速的微振動控制，從而滿足用戶對精密裝備控制精度的測試分析，以驗證和提高精密儀器與裝備的性能。產品外觀如下圖所示。
產品特點
θx、θy偏擺及θz旋轉
θx、θy偏擺角度可達4.6mrad/軸
θz旋轉角度可達3.2mrad
分辨率可達0.05μrad
承載可達1kg
閉環版本定位精度高
亞毫秒響應時間
產品應用
振動試驗
空間擾動模擬系統
干涉/計量
大負載運動試驗
技術參數
型號 | H32.TR4S/K | |
運動自由度 | θx、θy、θz | |
驅動控制 | 4路驅動，3路傳感/4路驅動 | |
標稱偏擺角度（0~120V） | θxθy: 3.7mrad θz: 2.6mrad | |
Max.偏擺角度（0~150V） | θxθy: 4.6mrad θz: 3.2mrad | |
傳感器類型 | SGS/- | |
分辨率 | θxθy: 0.15/0.07μrad θz: 0.1/0.05μrad | |
閉環線性度 | 可達0.03%F.S. | |
閉環重復定位精度 | 可達0.02%F.S. | |
空載諧振頻率 | θxθy: 250Hz θz: 560Hz | |
帶載諧振頻率@1kg | θxθy: 140Hz θz: 200Hz | |
靜電容量 | θxθy: 14.4μF θz: 10.8μF | |
階躍時間 | 30ms@1kg/10ms | |
承載能力 | 水平安裝 | 1kg |
立式安裝 | 0.5kg | |
倒置安裝 | 0.5kg | |
材質 | 不銹鋼、鋁合金 | |
重量（不含線） | 2240g | |
配套控制器
E70.D4系列壓電控制器非常適用于驅動H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉臺。它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的四通道壓電控制器。采用DC24V供電，輸出電壓為0~120V或0~150V，開閉環可選，模擬及數字控制，可通過串口、USB或網口進行數字通信，且體積小，非常易于集成。
