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P35A.T35系列大行程壓電偏轉鏡
P35A.T35系列是一款兼具大行程、高精度、高頻率特點的二維運動壓電偏轉鏡。它可產生θx、θy二維偏轉，偏轉角度達±18.5mrad，空載諧振頻率達2kHz，可配置閉環傳感器，閉環重復定位精度可達0.025%F.S.。外觀采用方形的設計，在物理上實現空間的最l大化利用便于集成，非常適合高精度大行程角度的快速偏轉應用。產品外觀如下圖所示。
產品特點
二維θx、θy偏轉
偏轉角度達±18.5mrad
空載諧振頻率2kHz
可定制
可選配閉環傳感器
產品應用
P35A.T35系列壓電偏轉鏡可廣泛應用于圖像處理/穩定、隔行掃描/抖動、光過濾/開關、激光掃描、光束偏轉與穩定、掃描顯微等光學應用。
技術參數
| 型號 | P35A.T35S/K |
| 運動自由度 | θx、θy |
| 驅動控制 | 3路驅動，2路傳感 |
| 標稱偏轉角度（0~120V） | ±14.8mrad/軸 |
| 偏轉角度（0~150V） | ±18.5mrad/軸 |
| 傳感器類型 | SGS/- |
| 閉/開環分辨率 | 1.2μrad/0.4μrad |
| 線性度 | 0.13%F.S./- |
| 重復定位精度 | θx0.05%F.S., θy0.025%F.S./- |
| 空載諧振頻率 | 2000Hz |
| 帶載諧振頻率 | 1800Hz（負載Φ12.7×3mm鏡片） 1100Hz（負載Φ24.5×3mm鏡片） |
| 閉環階躍時間 | 7ms@Φ12.7×3mm鏡片 8ms@Φ24.5×3mm鏡片 |
| 靜電容量 | 7.2μF/軸 |
| 材質 | 鈦合金、鋁 |
| 重量 | 155g |
配套控制器
E80.D3S-P多通道壓電控制器非常適用于驅動P35A.T35系列壓電偏轉鏡，采用模擬和數字控制，具有3個輸出通道，其中1通道輸出恒壓，非常適于差分驅動。此外，該控制器配備有傳感信號監測部分，可反饋體現壓電偏轉鏡偏轉角度的電壓信號，實現對偏轉鏡的高精確度控制。控制器可滿足電磁兼容試驗（CS101、CS114、CS115、CS116、RE102、RS103）、力學沖擊試驗（重力加速度20g）、22.6kPa低氣壓試驗（絕對值）等諸多嚴格的環境試驗。
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