芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) P16壓電掃描臺(tái)為XY軸平移掃描臺(tái)，機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，中心通孔孔徑為20mm，該系列掃描臺(tái)有50μm與100μm兩種規(guī)格行程 可選，開環(huán)閉環(huán)可選。方形移動(dòng)臺(tái)面，便于與外部機(jī)械結(jié)構(gòu)安裝連接。

P16壓電掃描臺(tái)特性

•大位移100μm

• 大承載1.5kg

• 通孔尺寸：Ø20mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開環(huán)閉環(huán)可選

剛度大、諧振頻率高、負(fù)載能力大

    P16系列壓電掃描臺(tái)，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高性 能壓電陶瓷，兩個(gè)規(guī)格型號掃描臺(tái)分別可實(shí)現(xiàn)50μm與100μm 的運(yùn)動(dòng)行程，一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)XY軸運(yùn)動(dòng)無耦合，優(yōu)異的結(jié)構(gòu) 可以承載1.5kg的負(fù)載，空載諧振頻率達(dá)400Hz。

    P16.XY100版本為中心對稱運(yùn)動(dòng)方式，需配套帶有一通道 恒壓的三通道壓電控制器。

   P16二維壓電掃描臺(tái)中心通孔尺寸Ø20mm，該系列壓電 掃描臺(tái)以其小體積、大負(fù)載、高動(dòng)態(tài)等特性廣泛應(yīng)用于顯微成 像等領(lǐng)域。

芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)P16壓電掃描臺(tái)典型應(yīng)用

• 顯微成像 • 表面檢測

• 干涉/計(jì)量 • 精密定位

• 光學(xué) • 微操作

應(yīng)用實(shí)例

    P16.XY二維壓電掃描臺(tái)以其大承載、高頻率等特點(diǎn)，應(yīng)用于光 路調(diào)整實(shí)驗(yàn)中，帶載大鏡架做XY軸精密運(yùn)動(dòng)。

P16壓電掃描臺(tái)技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。