快速刀具定位器可進行防塵防液滴處理，使其能工作在濕度環境。

定位器臺體材料采用不銹鋼材質以加工過程中的穩定性，可以結構穩定可靠，加工精度不會因顫動而受影響。

快速刀具定位臺采用的壓電陶瓷的出力是其他壓電納米定位臺出力的幾倍。

不同于振動加工，刀具位置可以通過內置傳感進行 反饋控制，實現納米級分辨率。

尾綴K-開環

運動自由度

X

X

X

運動和定位

標稱行程范圍（0~120V）

95

95

95

µm±20%

行程范圍（0~150V）

118

118

118

µm±20%

傳感器類型

CAP

-

分辨率

15

20

10

nm，typ.

閉環線性度

0.1

0.15

-

%F.S.

閉環重復定位精度

0.03

0.05

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<20

<20

<20

µrad

機械性能

運動方向推/拉力

300/25

300/25

300/25

N

運動方向剛度

3

3

3

N/µm±20%

空載諧振頻率

0.2

0.2

0.2

kHz±20%

空載階躍時間

30

30

7

ms±20%

空載工作頻率*

10%行程

50

50

>50

Hz±20%

行程

10

10

>10

承載能力

20

20

20

Kg

驅動性能

靜電容量

15

15

15

μF±20%

其他

工作溫度范圍**

-20~80

-20~80

-20~80

°C

材質

鋼

鋼

鋼

外形尺寸（長×寬×高）

120×60×60

120×60×60

120×60×60

mm

重量

3500

3500

3500

g±5%

出線長

1.5

1.5

1.5

m±10mm

傳感/電壓連接器***

LEMO

LEMO

LEMO