P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，偏轉鏡具有較好的運動精度和高穩定性，通過內置高精度傳感器進行閉環控制，實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P32系列Z向/俯仰/偏轉鏡提供兩軸的高速精密偏轉運動及Z軸直線升降運動，直線運動的分辨率可達亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧度，響應時間可達毫秒量級。P32系列壓電偏轉鏡體積小巧、結構緊湊，可實現6mrad偏轉，Z軸37.5μm的直線運動。

特性 P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm

• θx,θy二維偏轉及Z向升降運動，偏轉角度25mrad，直線位移37.5μm        • 閉環定位精度高         • 分辨率高        • 溫度穩定性高         • 亞毫秒響應時間

驅動控制

P32壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90。相差輸入，與Z向升降運動配合，再通過控制電壓的大小，對一定的光路距離，可進行一定范圍的錐形范圍掃描，如下右圖所示。